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| No | 제목 / 내용 |
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Co/Ti/Si 계에서 고상반응에 의한 Cobalt Silicide 형성기구 고찰 Formation Mechanism of Cobalt Silicide by Solid Phase Reaction in Co/Ti/Si system (100) Si 기판위에 전자 빔 증착법을 이용 |
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Co/Ti/Si 계에서 고상반응에 의한 Cobalt Silicide 형성기구 고찰 Formation Mechanism of Cobalt Silicide by Solid Phase Reaction in Co/Ti/Si system (100) Si 기판위에 전자 빔 증착법을 이용 |