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MEMS 공정 제작방법에 의한 솔레노이드형 여자 코일과 검출코일을 사용한 MEMS-BASED MICRO FLUXGATE SENSOR USING SOLENOID EXCITATION AND PICK-UP COILS This paper describes a MEMS-based micro-fluxgate magnetic |
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MEMS 공정 제작방법에 의한 솔레노이드형 여자 코일과 검출코일을 사용한 MEMS-BASED MICRO FLUXGATE SENSOR USING SOLENOID EXCITATION AND PICK-UP COILS This paper describes a MEMS-based micro-fluxgate magnetic |