RISS(한국교육학술정보원)
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박막히터를 사용한 비정질 실리콘의 고상결정화 (A New process for the Solid phase Crystallization of a-Si by the thin film heaters) 김병동|정인영|송남규|주승기 ; 한국진공학회, 2003 [Vol:12, no.3 2003] KCI등재후보 |