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RISS(한국교육학술정보원)

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1 승온중 수소 분위기 제어에 의한 선택적 Si 에피텍시 성장 (Selective Si Epitaxial Growth by Control of Hydrogen Atmosphere During Heating-up)
손용훈|박성계|김상훈|남승의|김형준|Son, Yong-Hun|Park, Seong-Gye|Kim, Sang-Hun|Nam, Seung-Ui|Kim, Hyeong-Jun ; 한국재료학회, 2002
[Vol:12, no.5 2002] KCI등재

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