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Density Functional Theory (DFT)를 이용한 Tetragonal-Ni<sub>1-x</sub>Pd<sub>x</sub>Si/Si (001)의 구조 연구 (Structural Study of Tetragonal-Ni<sub>1-x</sub>Pd<sub>x</sub>Si/Si (001) Using Density Functional Theory (DFT))
김대희|서화일|김영철|Kim, Dae-Hee|Seo, Hwa-Il|Kim, Yeong-Cheol ; 한국재료학회, 2008
[Vol:18, no.9 2008]
SCOPUS,KCI등재
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Orthorhombic-NiSi/Si (010) 구조의 Pd 치환 연구: 제 1 원리 계산 (Study of Pd substitution in orthorhombic-NiSi/Si (010) structure: First principles calculation)
김대희|김대현|서화일|김영철|Kim, Dae-Hee|Kim, Dae-Hyun|Seo, Hwa-Il|Kim, Yeong-Cheol ; 한국반도체디스플레이기술학회, 2008
[Vol:7, no.4 2008]
KCI등재후보
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DEMS(Diethoxymethylsilane) precursor를 이용한 PECVD 저유전물질 박막증착연구 (The study on low dielectric thin film deposition using DEMS precursor by PECVD)
강민구|김대희|김영철|서화일|Kang, Min-Goo|Kim, Dae-Hee|Kim, Yeong-Cheol|Seo, Hwa-Il ; 한국반도체디스플레이기술학회, 2008
[Vol:7, no.4 2008]
KCI등재후보
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Plasma Assisted ALD 장비를 이용한 니켈 박막 증착과 Ti 캡핑 레이어에 의한 니켈 실리사이드 형성 효과 (Nickel Film Deposition Using Plasma Assisted ALD Equipment and Effect of Nickel Silicide Formation with Ti Capping Layer)
윤상원|이우영|양충모|하종봉|나경일|조현익|남기홍|서화일|이정희|Yun, Sang-Won|Lee, Woo-Young|Yang, Chung-Mo|Ha, Jong-Bong|Na, Kyoung-Il|Cho, Hyun-Ick|Nam, Ki-Hong|Seo, Hwa-Il|Lee, Jung-Hee ; 한국반도체디스플레이기술학회, 2007
[Vol:6, no.3 2007]
KCI등재후보
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